Cibles de pulvérisation GR2 en titane
Application : industrie du revêtement, industrie du revêtement sous vide par pulvérisation
Mot-clé : Cible de pulvérisation en titane
Paquet: caisse en contreplaqué ou selon vos besoins
| Nom du produit | Cibles de pulvérisation en titane pour machine de revêtement PVD |
| Grade |
Titane (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7,GR12) Cible d'alliage : Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr, etc. Autres matériaux : chrome, zirconium, cuivre, tungstène, etc. |
| Origine | Ville de Baoji, province du Shaanxi, Chine |
| Teneur en titane | Supérieur ou égal à 99,5 (%) |
| Teneur en impuretés | <0.04(%) |
| Densité | 4,51 ou 4,50 g/cm3 |
| Standard | ASTM B348, ASTM B381 |
|
Taille |
1. Cible ronde : Ø30--2000mm, épaisseur 3.0mm--300mm ; 2. Targe de la plaque : Longueur : 200-500mm Largeur :100-230mm Épaisseur :3--40 mm 3. Cible du tube : Dia :30-200mm Épaisseur :5-20mm Longueur :500-2000mm 4. Personnalisé est disponible |
| Technique | Forgé et usiné CNC |
| Application | Séparation des semi-conducteurs, matériaux de revêtement de film, revêtement d'électrodes de stockage, revêtement par pulvérisation cathodique, revêtement de surface, industrie du revêtement de verre. |
Exigences de base pour les cibles de pulvérisation en titane :
En général, les indicateurs suivants seront pris en compte pour mesurer si la cible de pulvérisation répond aux principales exigences :
Pureté : La pureté a une grande influence sur les performances du film pulvérisé. Prenons l'exemple de la cible en titane : plus la pureté est élevée, meilleures sont la résistance à la corrosion et les propriétés électriques et optiques du film pulvérisé.
Teneur en impuretés : les impuretés dans le solide cible et l'oxygène et la vapeur d'eau dans les pores sont les principales sources de pollution du film de dépôt. Différents matériaux cibles ont des exigences différentes quant à leur teneur en impuretés.
Densité : La densité de la cible affectera non seulement le taux de pulvérisation, mais également les propriétés électriques et optiques du film. Par conséquent, afin de réduire la porosité du solide cible et d’améliorer les performances du film pulvérisé, il est généralement nécessaire que la cible ait une densité élevée.
Taille des grains et distribution des grains : pour une même cible, le taux de pulvérisation de la cible à grains fins est plus rapide que celui de la cible à grains grossiers ; Plus la différence de taille des particules (distribution uniforme) est petite, plus l'épaisseur du film de dépôt par pulvérisation cible est uniforme.
Images détaillées :
Emballage:Chaque cible en titane est emballée dans un sac en plastique sous vide personnalisé, rempli d'un film de mousse et de coton perlé au milieu, et d'un boîtier en contreplaqué sans fumigation à l'extérieur. Se conformer aux normes de transport internationales pour garantir la sécurité des marchandises pendant le transport.
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